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Luftgelagerte Portalgeräte | ||
Luftgelagerte Portalgeräte Luftgelagerte Portalgeräte Für Messbereiche größer als etwa 400 mm wird bei höheren Genauigkeitsanforderungen der Einsatz luftgelagerter Portalgeräte wirtschaftlich (Abb. 31). Abb. 31: Portalgerät mit bewegtem Tisch und fester Brücke (Werth ... |
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Messgeräte für Mikrostrukturen | ||
... können, sind besonders genaue Koordinatenmessgeräte erforderlich. Ihr prinzipieller Aufbau entspricht dem der oben beschriebenen luftgelagerten Portalgeräte mit fester Brücke. Geeignete Komponenten wie hochauflösende Maßstabssysteme (Auflösung ≤ 10 nm), spezielle Luftlager mit geringer ... |