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  Luftgelagerte Portalgeräte
  Luftgelagerte Portalgeräte Luftgelagerte Portalgeräte Für Messbereiche größer als etwa 400 mm wird bei höheren Genauigkeitsanforderungen der Einsatz luftgelagerter Portalgeräte wirtschaftlich (Abb. 31). Abb. 31: Portalgerät mit bewegtem Tisch und fester ...

  Messgeräte für Mikrostrukturen
  ... durchführen zu können, sind besonders genaue Koordinatenmessgeräte erforderlich. Ihr prinzipieller Aufbau entspricht dem der oben beschriebenen luftgelagerten Portalgeräte mit fester Brücke. Geeignete Komponenten wie hochauflösende Maßstabssysteme (Auflösung ≤ 10 nm), spezielle Luftlager mit ...

  Index
  ...   Konturbildverarbeitung Kreuztisch L Laser -, Punktsensor -, Sensor Lichtempfindlichkeit Lichtschnitt -, Laser- -, Verfahren Lichtsignal Luftgelagert M Matrixkamera Mattscheibe Messergebnis Messgenauigkeit Messgeschwindigkeit Messmikroskop Messprinzip Messprozesseignung Messpunkt Messraum   ...

  Koordinatenmessgeräte mit Portal
  ... mit Portal Für höhere Genauigkeitsanforderungen und größere Messbereiche wird die mechanische Führung der Tischbauweise durch luftgelagerte Systeme ersetzt. Die hochgenauen Führungsbahnen bestehen vorzugsweise aus natürlichem Hartgestein (Granit). Auf ihnen gleiten die beweglichen ...

  Multisensor-Koordinatenmessgeräte mit Röntgentomog...
  ... verwendet. Dies erhöht die Genauigkeit und gestattet die Messung kleinster Objektmerkmale. Abb. 39: Detailansicht eines hochgenauen luftgelagerten Multisensor Koordinatenmessgeräts mit Röntgentomografie, Bildverarbeitung und Taster (TomoCheck®). Die Bedienung der Messgeräte erfolgt durch ...