Messgeräte für Mikrostrukturen

Insbesondere in der Mikromechanik, aber auch bei bestimmten Teilen für den Fahrzeug-, Werkzeug- und allgemeinen Maschinenbau liegen die Toleranzen im  Bereich weniger Mikrometer. Um Messungen an solchen Objekten mit ausreichender Genauigkeit durchführen zu können, sind besonders genaue Koordinatenmessgeräte erforderlich. Ihr prinzipieller Aufbau entspricht dem der oben beschriebenen luftgelagerten Portalgeräte mit fester Brücke. Geeignete Komponenten wie hochauflösende Maßstabssysteme (Auflösung ≤ 10 nm), spezielle Luftlager mit geringer Eigenschwingung (< 20 nm Amplitude) und spezielle konstruktive Maßnahmen zur Reduzierung der systeminternen Reibung ermöglichen Messunsicherheiten weit unter 1 µm (s. Abb. 53, S. 79). Diese extreme Genauigkeit lässt sich nur mit Bildverarbeitungssensoren und Fasertastern erreichen.