Weißlichtinterferometer

Ein in der Koordinatenmesstechnik seltener angewendetes Verfahren ist die Weißlichtinterferometrie. Bei diesem Verfahren wird ein Weißlichtinterferometer entlang der optischen Achse bewegt. Zu jeder Position des Sensors werden mit einem speziellen Interferenzverfahren die Objektpunkte ermittelt, die sich in einem vordefinierten Abstand zum Sensor befinden [1]. Es gibt punktförmige und flächenhafte Weißlichtinterferometer. Bei letzteren können die Punkte während der Bewegung – ähnlich dem 3D-Patch – für verschiedene Schnittebenen ermittelt und anschließend zu einer Punktewolke zusammengefügt werden. Diese beschreibt die Oberflächentopografie des Werkstücks dreidimensional. Die Ergebnisse hängen relativ stark von den Oberflächeneigenschaften (Reflexionsverhalten) der Messobjekte ab.